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鴻舸半導體申請氣體檢測專利，可實時檢測混合氣體混合比例:氣體檢測
金融界2025年1月17日消息，國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示，鴻舸半導體設備（上海）有限公司申請一項名為“一種應用于半導體制造中的氣體檢測方法和裝置”的專利，公開號CN119310014A，申請日期為2
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